Micromanometer là một thiết bị được thiết kế để đo sự chênh lệch áp suất nhỏ. Nó được sử dụng trong nhiều lĩnh vực khoa học và công nghệ như y học, sinh học, vật lý và hóa học.
Vi áp kế có thể được chế tạo dựa trên nhiều nguyên lý hoạt động khác nhau, ví dụ, dựa trên hiệu ứng áp điện, hiệu ứng thủy động lực hoặc nguyên lý lực mao dẫn. Chúng có thể có phạm vi đo và độ chính xác khác nhau, tùy thuộc vào yêu cầu của một ứng dụng cụ thể.
Một trong những loại vi áp kế phổ biến nhất là vi áp kế mao quản, dựa trên hiệu ứng mao dẫn. Nó bao gồm hai ống, một ống chứa đầy chất lỏng và ống còn lại chứa không khí. Khi áp suất ở một trong các ống tăng lên, chất lỏng bắt đầu dâng lên qua mao quản, khiến mức chất lỏng trong ống kia thay đổi. Hiệu ứng này được sử dụng để đo sự chênh lệch áp suất nhỏ.
Một loại vi áp kế khác là vi áp kế áp điện. Nó dựa trên hiệu ứng áp điện, thực tế là một số vật liệu, chẳng hạn như thạch anh, có thể thay đổi kích thước của chúng khi có điện trường tác dụng. Khi một tín hiệu điện được đưa vào áp điện, nó có thể thay đổi hình dạng và theo đó, thay đổi khoảng cách giữa hai điểm trên bề mặt của nó. Hiệu ứng này có thể được sử dụng để đo những thay đổi nhỏ trong khoảng cách giữa hai điểm.
Ngoài ra, còn có các vi áp kế quang học, dựa trên sự thay đổi tính chất quang học của vật liệu khi hình dạng hoặc kích thước của nó thay đổi. Ví dụ, việc thay đổi kích thước của một vật liệu có thể làm thay đổi chiết suất của nó, chiết suất có thể dùng để đo những khoảng cách ngắn.
Nhìn chung, vi áp kế là công cụ rất hữu ích để đo áp suất và khoảng cách nhỏ trong các ngành khoa học và công nghệ khác nhau. Chúng có nhiều ứng dụng, từ nghiên cứu y học đến quy trình công nghiệp.