Dao động tần số siêu cao (vi sóng) là dao động điện từ có tần số từ 300 MHz đến 300 GHz. Chúng nằm trong phạm vi giữa bức xạ hồng ngoại và sóng vô tuyến.
Sóng vi sóng có những đặc tính độc đáo. Chúng có thể lan truyền trong ống dẫn sóng và trong không gian mở. Khi tiếp xúc với dây dẫn, vi sóng sẽ tạo ra dòng điện tần số cao. Tính chất này được sử dụng trong thiết bị điện tử vi sóng.
Bức xạ vi sóng được sử dụng trong radar, thông tin vệ tinh, truyền hình, lò vi sóng, y học và các lĩnh vực khác. Lò vi sóng được sử dụng để nấu và rã đông thực phẩm một cách nhanh chóng. Trong y học, liệu pháp vi sóng giúp điều trị nhiều bệnh.
Nghiên cứu trong lĩnh vực vi sóng đang được tiến hành, mở rộng phạm vi ứng dụng của các loại sóng độc đáo này. Một hướng đi đầy hứa hẹn là việc sử dụng vi sóng để truyền năng lượng không dây qua khoảng cách xa.