El análisis de microrayos X es un tipo de análisis de rayos X en el que el objeto en estudio se irradia con rayos X de baja intensidad. Esta definición se da en GOST 27820-2008 "Rayos X y dispositivos ópticos de rayos X. Términos. Definiciones".
Una máquina de rayos X es un dispositivo electrónico cuyo principio de funcionamiento básico se basa en la conversión de energía eléctrica en energía de rayos X. Para resolver muchos problemas en la tecnología de rayos X, se utilizan tubos de rayos X, en los que el voltaje de aceleración de una corriente eléctrica (en un volumen cerrado de 3 kV a 50 MeV) se desvía mediante un pequeño campo magnético. Debido a esto, las partículas de la sustancia metálica de los electrodos dentro del tubo se mueven como en una trayectoria curva: los electrones que han perdido energía cinética caen sobre el cátodo. Este elemento está formado por un material refractario (tungsteno, molibdeno u óxido de torio) y plomo catódico depositado en su superficie mediante pulverización catódica. Para que el plasma catódico mantenga su estructura, debe permanecer en su temperatura de fusión. Cuando se calientan y se forman arcos, el tungsteno y el molibdeno se funden y se evaporan. La tapa del cátodo sirve como protección. El diseño del tubo, sin embargo, permite que el material se evapore y regrese parcialmente a la superficie del cátodo para restaurar la estructura. Los electrones cerca del cátodo pueden ralentizarse debido a colisiones con átomos de vapor de mercurio que penetran constantemente a través del orificio del cátodo. En este caso, la radiación de rayos X se puede intensificar. Esto último da como resultado una tensión superficial formada por la superficie cargada negativamente del cátodo debido a átomos individuales, los llamados iones. Debido a la atracción entre la tensión superficial y las partículas negativas, las fuerzas de tensión superficial del plasma que forma el hemisferio aumentan, por lo que se contrae. Sin embargo, dicha compresión no puede continuar indefinidamente, ya que el voltaje actual excede con creces la altura del voltaje. Si se comprime con un voltaje bastante fuerte, aparece una carga en el plano del cátodo, lo que conduce a la expansión del plasma. Este cambio en la velocidad del flujo de electrones desde el cátodo hacia arriba es proporcional al cambio de voltaje hasta que la intensidad del campo alcanza un valor igual a la intensidad del campo entre el cátodo y el ánodo. Se reducen las pérdidas de energía eléctrica y la energía electrostática se convierte en energía cinética de los electrones en el ánodo. A continuación, se produce una colisión masiva entre las mismas partículas. La masa de los electrones que se mueven después de perder energía cinética a la velocidad de la luz, la masa es de 938,28 megaelectronvoltios. Una sola acción de la masa de partículas resulta en última instancia en: • liberación de radiación luminosa • formación de cuantos de alta energía: rayos X, fotografía de rayos X