Mikroröntgenanalys är en typ av röntgenanalys där föremålet som studeras bestrålas med lågintensiva röntgenstrålar. Denna definition ges i GOST 27820-2008 "Röntgen- och röntgenoptiska enheter. Termer. Definitioner."
En röntgenmaskin är en elektronisk enhet vars grundläggande funktionsprincip bygger på omvandlingen av elektrisk energi till energin från röntgenstrålar. För att lösa många problem inom röntgenteknik används röntgenrör, där accelerationsspänningen hos en elektrisk ström (i en sluten volym från 3 kV till 50 MeV) avböjs av ett litet magnetfält. På grund av detta rör sig partiklar av metallsubstansen i elektroderna inuti röret som längs en krökt bana: elektroner som har förlorat kinetisk energi faller på katoden. Detta element består av ett eldfast material (volfram, molybden eller toriumoxid) och katodbly avsatt på dess yta genom sputtering. För att katodplasman ska behålla sin struktur måste den förbli vid sin smälttemperatur. Vid upphettning och bågbildning smälter volfram och molybden och avdunstar. Katodlocket fungerar som skydd. Utformningen av röret tillåter emellertid att materialet avdunstar och delvis återgår till katodytan för att återställa strukturen. Elektroner nära katoden kan bromsas på grund av kollisioner med atomer av kvicksilverånga som ständigt tränger in genom katodhålet. I detta fall kan röntgenstrålningen göras starkare. Det senare resulterar i ytspänning som bildas av katodens negativt laddade yta på grund av enskilda atomer, så kallade joner. På grund av attraktionen mellan ytspänningen och de negativa partiklarna ökar ytspänningskrafterna hos plasman som bildar halvklotet, så att den drar ihop sig. Sådan kompression kan dock inte fortsätta i det oändliga, eftersom strömspänningen avsevärt överstiger spänningens höjd. Om du komprimerar en ganska stark spänning, uppstår en laddning på katodplanet, vilket leder till expansion av plasman. Denna förändring i elektronflödeshastigheten från katoden och uppåt är proportionell mot den förändrade spänningen tills fältstyrkan når ett värde lika med fältstyrkan mellan katoden och anoden. Elektriska energiförluster reduceras och elektrostatisk energi omvandlas till kinetisk energi av elektroner i anoden. Därefter inträffar en massiv kollision mellan samma partiklar. Massan av elektroner som rör sig efter att ha förlorat kinetisk energi med ljusets hastighet, massan är 938,28 megaelektronvolt. En enda verkan av partikelmassan resulterar i slutändan i: • frigörande av ljusstrålning • bildande av högenergikvanta - röntgenstrålar, röntgenfotografering